Методика мультиэнергетической рентгенографии изделий микроэлектроники с неоднородной структурой
Ключевые слова:
мультиэнергетическая рентгенография, изделие микроэлектроники, рентгеновское изображение, показатель качества рентгеновского изображенияАннотация
Анализ существующих систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники, их основных возможностей и характеристик свидетельствует о необходимости разработки метода мультиэнергетической рентгенографии, позволяющего расширить возможности цифровой рентгенографии на изделия микроэлектроники с неоднородной структурой. Разработанный метод позволяет получить минимальный набор цифровых рентгеновских изображений изделия микроэлектроники с неоднородной структурой за счет обоснованного выбора команд источнику рентгеновского излучения для запуска "рабочих" режимов экспозиции. Указанный набор изображений обеспечивает возможность проведения контроля дефектов изделия по результатам визуализации внутренней структуры всех его функциональных элементов с требуемым качеством.Литература
1. Мазуров А.И. Последние достижения в цифровой рентгенотехнике // Медицинская техника. 2010. № 5(263). С. 10-14.
2. Jens Ricke, et al. Clinical results of Csl-detector-based dual-exposure dual energy in chest radiography // Eur Radiol (2003) 13. рр. 2577–2582.
3. Macdonald R. Design and implementation of a dual-energy X-ray imaging system for organic material detection in airport security application // Proc.SPIE. 2001. 4301. рр. 31–41.
4. Способ улучшения распознаваемости материала в рентгеновской контрольной установке и рентгеновская контрольная установка // патент № 2462702. РФ. 2012. 11 с.
5. Рыжиков В.Д., Ополонин А.Д., Волков В.Г., Лисецкая Е.К., Галкин С.Н., Воронкин Е.Ф. Трехэнергетическая цифровая радиография для разделения веществ с малым эффективным атомным номером // Вісник НТУ «ХПІ». 2013. № 34(1007). С. 43–51.
6. Орнатский П.П. Автоматические измерения и приборы // Киев: Высш.шк. 1988. 486 с.
7. Жиляков Е.Г., Черноморец А.А., Лысенко И.В. Метод определения точных значений долей энергии изображений в заданных частотных интервалах // Вопросы радиоэлектроники. Сер. РЛТ. 2013. Вып. 4. С. 115–123.
8. Черноморец А.А. Голощапова В.А., Лысенко И.В., Болгова Е.В. О частотной концентрации энергии изображений // Научные ведомости БелГУ. Сер. История. Политология. Экономика. Информатика. 2011. №1(96). Вып. 17/1. С. 146–151.
9. Жиляков Е. Г., Черноморец А.А., Белов А.С., Болгова Е.В. О субполосных свойствах изображений // Научные ведомости БелГУ. Сер. История. Политология. Экономика. Информатика. 2013. №8(151). Вып. 26/1. С. 175–182.
10. Черноморец А.А., Иванов О.Н. Метод анализа распределения энергий изображений по заданным частотным интервалам // Научные ведомости БелГУ. Сер. История. Политология. Экономика. Информатика. 2010. №19(90). Вып.16/1. С. 161–166.
11. Григоров М.С., Басов О.О. Анализ распределения энергии рентгеновского изображения по частотным интервалам // Наукоемкие технологии и инновации (XХI научные чтения): Сборник научных трудов Международной научно-практической конференции, посвященной 60-летию БГТУ им. В.Г. Шухова. 2014. С. 160–165.
12. Григоров М.С., Басов О.О. Применение мультиэнергетической цифровой рентгенографии для контроля качества изделий микроэлектроники с неоднородной структурой // Информационные технологии в науке, образовании и производстве: Сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции. Орел. 2014. URL: http://youconf.ru/itnop2014/materials/ manager/view/61.
13. Григоров М.С., Басов О.О. Автоматизация неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники при применении мультиэнергетической рентгенографии // Прогрессивные технологии и процессы: Сборник научных статей Международной молодежной научно-технической конференции. Курск: Юго-Зап. гос. ун-т. 2014. Том 1. С. 97–100.
2. Jens Ricke, et al. Clinical results of Csl-detector-based dual-exposure dual energy in chest radiography // Eur Radiol (2003) 13. рр. 2577–2582.
3. Macdonald R. Design and implementation of a dual-energy X-ray imaging system for organic material detection in airport security application // Proc.SPIE. 2001. 4301. рр. 31–41.
4. Способ улучшения распознаваемости материала в рентгеновской контрольной установке и рентгеновская контрольная установка // патент № 2462702. РФ. 2012. 11 с.
5. Рыжиков В.Д., Ополонин А.Д., Волков В.Г., Лисецкая Е.К., Галкин С.Н., Воронкин Е.Ф. Трехэнергетическая цифровая радиография для разделения веществ с малым эффективным атомным номером // Вісник НТУ «ХПІ». 2013. № 34(1007). С. 43–51.
6. Орнатский П.П. Автоматические измерения и приборы // Киев: Высш.шк. 1988. 486 с.
7. Жиляков Е.Г., Черноморец А.А., Лысенко И.В. Метод определения точных значений долей энергии изображений в заданных частотных интервалах // Вопросы радиоэлектроники. Сер. РЛТ. 2013. Вып. 4. С. 115–123.
8. Черноморец А.А. Голощапова В.А., Лысенко И.В., Болгова Е.В. О частотной концентрации энергии изображений // Научные ведомости БелГУ. Сер. История. Политология. Экономика. Информатика. 2011. №1(96). Вып. 17/1. С. 146–151.
9. Жиляков Е. Г., Черноморец А.А., Белов А.С., Болгова Е.В. О субполосных свойствах изображений // Научные ведомости БелГУ. Сер. История. Политология. Экономика. Информатика. 2013. №8(151). Вып. 26/1. С. 175–182.
10. Черноморец А.А., Иванов О.Н. Метод анализа распределения энергий изображений по заданным частотным интервалам // Научные ведомости БелГУ. Сер. История. Политология. Экономика. Информатика. 2010. №19(90). Вып.16/1. С. 161–166.
11. Григоров М.С., Басов О.О. Анализ распределения энергии рентгеновского изображения по частотным интервалам // Наукоемкие технологии и инновации (XХI научные чтения): Сборник научных трудов Международной научно-практической конференции, посвященной 60-летию БГТУ им. В.Г. Шухова. 2014. С. 160–165.
12. Григоров М.С., Басов О.О. Применение мультиэнергетической цифровой рентгенографии для контроля качества изделий микроэлектроники с неоднородной структурой // Информационные технологии в науке, образовании и производстве: Сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции. Орел. 2014. URL: http://youconf.ru/itnop2014/materials/ manager/view/61.
13. Григоров М.С., Басов О.О. Автоматизация неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники при применении мультиэнергетической рентгенографии // Прогрессивные технологии и процессы: Сборник научных статей Международной молодежной научно-технической конференции. Курск: Юго-Зап. гос. ун-т. 2014. Том 1. С. 97–100.
Technique of a Multipower X-Ray Analysis of Products of Microelectronics with Non-Uniform Structure
Abstract
The analysis of the existing systems of nondestructive x-ray control of products of microelectronics, their main opportunities and characteristics testifies to need of introduction of a multipower X-ray analysis method allowing to expand possibilities of a digital X-ray analysis for microelectronics products with non-uniform structure. The developed technique allows us to receive the minimum set of digital x-ray images of a product of microelectronics with non-uniform structure due to a reasonable choice of commands to a source of x-ray radiation in order to actuate the "working" modes of exposition. The specified set of images provides the possibility of monitoring product defects by results of visualization of the internal structure of all its functional elements with the demanded quality.
Опубликован
2015-06-15
Как цитировать
Григоров, М. С., & Басов, О. О. (2015). Методика мультиэнергетической рентгенографии изделий микроэлектроники с неоднородной структурой. Труды СПИИРАН, 3(40), 19-32. https://doi.org/10.15622/sp.40.2
Раздел
Статьи
Авторы, которые публикуются в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:
Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и передают журналу право первой публикации вместе с работой, одновременно лицензируя ее на условиях Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим распространять данную работу с обязательным указанием авторства данной работы и ссылкой на оригинальную публикацию в этом журнале.
Авторы сохраняют право заключать отдельные, дополнительные контрактные соглашения на неэксклюзивное распространение версии работы, опубликованной этим журналом (например, разместить ее в университетском хранилище или опубликовать ее в книге), со ссылкой на оригинальную публикацию в этом журнале.
Авторам разрешается размещать их работу в сети Интернет (например, в университетском хранилище или на их персональном веб-сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению, а также к большему количеству ссылок на данную опубликованную работу (Смотри The Effect of Open Access).
